聚氨酯系列抛光片是一种坚硬的微孔聚氨酯抛光片,按填充的研磨材料不同,分为氧化铈系列、氧化锆等系列
山西合成材料产业技术研究院,聚氨酯抛光垫参数
CMP聚氨酯材料是指利用化学与机械抛光工艺,对物体(玻璃、透镜、石英、蓝宝石、半导体等)实现抛光研磨的聚氨酯弹性体材料